智庭科技TMM-2107 手動測量金相顯微鏡工具顯微鏡廠家直發

1.儀器主機說明
tmm-2107是我司針對半導體行業推出的一款高性能的手動測量金相顯微鏡，結合公司多年影像測量和掃描的生產經驗，以及自主研發的三維測量掃描軟件，將設備的高性能的特點發揮到**。
l選用高清品牌相機，措載soptop高端金相系統，整體成像清晰無閃爍，視場開闊。
l物鏡可切換多種倍率：5x,10x,20×,50x(選配)100×(選配),**綜合倍率**可達
2000倍以上。
l標配反射和透射led可程控光源或非程控鹵素光源。
l利用可變孔徑光闌，可進行無衍射觀察測量。
l單視野范圍內測量精度±1μm,重復精度±0.5μm加裝光譜共焦位移傳感器可測高度、
深度、平面度，測量精度±1μm。
l可根據客戶需求，訂制各種尺寸工作臺，目前*大行程可做3000*2000mm,*小行程可做
50*50mm工作臺。
l有精調/微調兩種模式，便于**聚焦和觀察測量，快速定位焦面。
l可根據客戶要求加配超長工作距離apo物鏡，激光測頭各種規格攝像機以及更高精度光
柵等(光尺**選配0.01μm)。
l自主研發金相測量軟件，頁面簡潔大氣，操作方便易上手，可適高精度要求的復雜工件
測量。
2.技術參數
掃描范圍
xyz三軸移動范圍（mm）
200*100*70
外形尺寸（mm）
520*530*740
玻璃臺面尺寸（mm）
245*145
臺面承重（kg）
25
儀器凈重（kg）
100
光學影像及測量系統
光學系統
無限遠平場消色差金相顯微光學模組（3目）
金相顯微物鏡倍率
5x
10x
20x
視頻總放大倍率
241.5x
483x
966x
雙目目鏡倍率
標配10x目鏡（視場數φ22mm），也可選配20x目鏡
物方工作距離(mm)
26.1
20.2
8.8
物方視場(mm)
1.47*0.98
0.735*0.49
0.368*0.245
照明光源
上光：led同軸落射冷光源（程控調光）
底光：led平行冷光源（程控調光）
輔光: led光源（程控調光）
攝像機
hikvision 500萬像素高清彩色數字相機
示值誤差（μm）
單視野
±1
xy行程范圍
2.5+l/200
重復精度（μm）
單視野
±0.5
xy行程范圍
2.5
xyz光柵分辨力（μm）
1
掃描測量軟件
ztvision-m(擁有自主知識產權)
其他選配件
光譜共焦位移傳感器、激光位移傳感器、自動變倍金相顯微模組等
電腦
聯想e95/g3930/4g/1t/集成
工作電源
ac200-240v 50/60hz450w（注：需有電阻≤4ω接地線）
工作環境
溫度20±2℃,相對濕30%-80%,振動＜0.002g，低于15hz，遠離振源