真空鍍膜機(jī)配件
真空鍍膜機(jī)是一種用于在物體表面形成薄膜的設(shè)備,它通常由多個(gè)配件和耗材組成。以下是一些常見的真空鍍膜機(jī)配件和耗材:
鍍膜材料:包括金屬蒸發(fā)材料(如鋁、銅、銀、金等)和非金屬蒸發(fā)材料(如氧化物、氮化物等)。這些材料用于在真空環(huán)境中蒸發(fā)并沉積在物體表面形成薄膜。
鍍膜舟:用于裝載鍍膜材料的容器,通常由耐高溫材料制成,如石墨、石英等。
鍍膜源:用于加熱和蒸發(fā)鍍膜材料的設(shè)備,如電子束蒸發(fā)源、電阻加熱源、磁控濺射源等。
鍍膜控制系統(tǒng):用于控制鍍膜過(guò)程的設(shè)備,包括真空度控制、溫度控制、蒸發(fā)速率控制等。
泵系統(tǒng):用于創(chuàng)建和維持真空環(huán)境的設(shè)備,包括機(jī)械泵、分子泵、擴(kuò)散泵等。
鍍膜掩膜:用于遮擋部分物體表面,使其不被鍍膜的設(shè)備,如掩膜紙、掩膜膠帶等。
鍍膜監(jiān)測(cè)設(shè)備:用于監(jiān)測(cè)鍍膜過(guò)程中的參數(shù)和性能的設(shè)備,如膜厚計(jì)、光譜儀等。
清潔和維護(hù)工具:用于清潔和維護(hù)真空鍍膜機(jī)的工具,如真空泵油、清潔劑、密封件等。
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