NE-PE02 納恩科技2L真空等離子清洗活化機(jī)

ne-pe02是一款小型真空等離子處理系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。設(shè)備采用進(jìn)口品牌高性能旋片真空泵快速產(chǎn)生一個(gè)小于1-2 pa的真空壓強(qiáng)，同時(shí)根據(jù)客戶工藝要求，對(duì)真空反應(yīng)腔室內(nèi)通入不同的混合工藝氣體，采用進(jìn)口高品質(zhì)等離子發(fā)生器，使得通入的工藝氣體產(chǎn)生等離子體，并確保穩(wěn)定產(chǎn)生高密度，高能量的離子。等離子體與材料發(fā)生復(fù)雜的物理，化學(xué)反應(yīng)，可以實(shí)現(xiàn)不同的工藝功能，比如清洗，活化，刻蝕與涂敷等。等離子態(tài)顯著的特點(diǎn)是高均勻性輝光放電，根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍(lán)色到深紫色的色彩可見(jiàn)光。
ne-pe02 系統(tǒng)功能特點(diǎn)：
•耐用的高品質(zhì)不銹鋼結(jié)構(gòu)和固定裝置
•不銹鋼托盤設(shè)計(jì)，可調(diào)節(jié)托盤間距
•8k鏡面不銹鋼腔體，卓越密封性
•數(shù)字高頻等離子發(fā)生器，產(chǎn)生高密度等高子體，確保出眾的清洗效果
•直觀的觸摸屏，過(guò)程參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控
•方便的定期校準(zhǔn)設(shè)備連接驗(yàn)證過(guò)程中使用的要求
•支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
•通過(guò)聯(lián)鎖門或可移動(dòng)的板
•兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的浮子針閥流量控制器
序號(hào)
項(xiàng)目
型號(hào)規(guī)格
參數(shù)
1
等離子體發(fā)生器
功率
0-300w可調(diào)
抗輻射干擾高頻匹配器
自動(dòng)阻抗匹配
頻率
40khz
2
真空反應(yīng)腔室
腔體材質(zhì)
進(jìn)口 316 不銹鋼，軍工級(jí)密封
腔體容積
2l
電極數(shù)量
1 個(gè)鍍金鋁合金專用電極 + 1個(gè)不銹鋼托盤
腔體直徑（圓形）
100（w）×270（d）mm
有效處理范圍
80（w）*235(d)mm
絕緣陶瓷
進(jìn)口高頻陶瓷
3
氣路控制
氣體流量控制器
浮子針閥流量控制器，0-500ml
氣路數(shù)量
最小2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮?dú)猓睔猓瑲錃猓姆嫉?br>4
真空測(cè)量
真空計(jì)
smc 真空計(jì)
5
抽氣系統(tǒng)
真空泵
飛越 8 m³/h
極限真空度
0.1pa
真空管路
不銹鋼管路+氣動(dòng)閥門
6
控制系統(tǒng)
觸摸屏
4.3寸
plc
松下plc模塊
軟件程序
自主專利設(shè)計(jì)等離子控制系統(tǒng)
7
場(chǎng)務(wù)條件
電源供應(yīng)
220v
氣管接口
直徑8mm
氣體純度
99.99%
氣體壓力
0.3-0.6mpa
排氣口
kf25
8
整機(jī)參數(shù)
整機(jī)功率
1000w
外形尺寸
590mm(l)×450mm(w) ×465 mm(h)
重量
40kg