氦質(zhì)譜檢漏儀真空鍍膜配氣面板檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀 asm 340真空鍍膜配氣面板檢漏
上海伯東某客戶生產(chǎn)高純度特種氣體不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件, 這些配件主要用于集成在真空鍍膜配氣面板, 實(shí)現(xiàn)工藝氣體的傳輸. 為了防止氣體外泄, 除了閥門, 接頭, 管件需要單檢漏外, 整個配氣面板也需要測試整體漏率, 使用上海伯東德國 pfeiffer氦質(zhì)譜檢漏儀 asm 340, 真空模式下, 漏率設(shè)置為 5.5x10-10pa m3/s. 組裝后的真空鍍膜配氣面板廣泛應(yīng)用于 cvd 設(shè)備.
真空鍍膜配氣面板檢漏
1. 不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件等單進(jìn)行檢漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10pa m3/s
2. 組裝后的真空鍍膜配氣面板, 整體再次進(jìn)行檢漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10pa m3/s
上海伯東銷售維修氦質(zhì)譜檢漏儀 asm 340 與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以出小的漏率 5e-13 pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點(diǎn).
型號
asm 340 w
對氦氣的小檢測漏率
5e-13 pa m3/s
檢測模式
真空模式和吸式
檢測氣體
4he, 3he, h2
啟動時間 min
3
對氦氣的抽氣速度 l/s
2.5
進(jìn)氣口大壓力 hpa
25
前級泵抽速 m3/h
油泵 15
重量 kg
56
結(jié)合了 pfeiffer 與 adixen 兩家檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢, 上海伯東德國 pfeiffer 推出全系列新型號氦質(zhì)譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用.氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點(diǎn).氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 plc.推薦氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 >>
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