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背壓法氦質譜檢漏的簡單步驟
質譜檢漏實際應用中有很多具體的方法，其中背壓法也是其中一種，我們來了解下背壓法氦質譜檢漏的幾個步驟。
背壓法氦質譜檢漏檢漏過程主要包括三個步驟：
首先是充壓。將被檢件在充有高壓示漏氣體的容器內存放浸泡一定時間。如果被檢件有漏孔，示漏氣體會通過漏孔進入到被檢件內部。隨著浸泡時間的增加和充壓壓力的提高，這個被檢件內部的示漏氣體分壓也會逐漸升高。
然后是凈化。用干燥氮氣或干燥空氣在充壓容器外部或在其內部吹被檢件，在不具備氣源時可以靜置被檢件，這樣做的目的是去除吸附在被檢件外表面上的示漏氣體。這個過程中，會有部分示漏氣體從被檢件內經漏孔流失，導致被檢件內部示漏氣體分壓力下降。因此凈化階段時間越長，示漏氣體的分壓將越大。
第三個步驟就是檢漏。經過凈化的被檢件被放入真空室，真空室與檢漏儀相連，進行檢漏。抽真空后，由于壓差作用，示漏氣體通過漏孔從被檢件內部流出，而后經過真空室進入檢漏儀，根據檢漏儀的輸出指示可以判定漏孔的存在以及漏率。
怎么樣影響氦質譜檢漏儀檢測精度穩定時間對檢測的影響
在充氣的時候，壓縮空氣會因為受壓狀態而進入一個密閉容器后，引起一系列的熱力學-動力學變化。即當一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后，其壓力會發生降低，若此時進行測量，則這種壓力的變化會被視作一個由泄漏所引起的壓力變化，影響測量結果的準確性。這種“沖氣效應”受充氣壓力、測試容積及測試件材料影響。當充氣壓力或測試容積增加時，這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個問題的辦法之一是在充氣與測量之間增加一段穩定時間來消除這種影響。
氦質譜檢漏儀以及氦質譜檢漏，在實際應用中，氦質譜檢漏顧名思義一般都會采用氦氣作為的示漏氣體，這是為什么呢？
氦質譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名，但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點：
1、氦氣的質量輕，易于穿過漏孔，進入系統時流動和擴散快，因此響應快，鋰電池氦檢測漏機，檢漏靈敏度高。
2、氦離子質荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當降低對分析器制造精度的要求，使質譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。
3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。
以上這些因素都為提高氦質譜檢漏儀器的靈敏度創造了良好條件。另外，氦氣作為一種惰性氣體，性質不活潑，不與真空器件起化學反應，*，也不會污染環境，因此使用起來也十分安全。
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