國(guó)產(chǎn)SU-8 2010光刻膠

簡(jiǎn)介：
中芯啟恒su-8 2000系列光刻膠是負(fù)性光刻膠，采用環(huán)戊酮溶劑配制而成，在超厚度膠膜涂布工藝中，圖案化的結(jié)構(gòu)有較好的穩(wěn)定性和高分辨率，其膜厚范圍比任何其他市售光刻膠更廣泛，單次旋涂工藝膠膜厚度可選1-300um范圍，可根據(jù)需要進(jìn)行多次旋涂，從而獲得更厚的膠膜。自2019年推出后，受到了同行業(yè)客戶的青睞，在mems微加工領(lǐng)域占據(jù)越來越多的市場(chǎng)份額。
中芯啟恒su-8 2000系列光刻膠根據(jù)粘度不同，劃分為以下型號(hào)：
中芯啟恒su-8 2000系列
單次旋涂膜厚范圍
su-8 2005
2-8um
su-8 2015
12-38um
su-8 2025
20-80um
su-8 2050
40-170um
su-8 2075
60-240um
su-8 2100
100-270um
備注：不同膜厚可通過調(diào)節(jié)勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速獲得，因客戶實(shí)驗(yàn)設(shè)備不同，實(shí)際參數(shù)需進(jìn)行微調(diào)。
中芯啟恒su-8-2000系列光刻膠推薦使用i線365nm紫外曝光，可選設(shè)備cchip-0019型光刻機(jī)，也可使用電子束或x射線輻照。光刻膠中的光引發(fā)劑吸收光子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成一種強(qiáng)酸，作用是在中烘或后烘過程中作為酸催化劑促進(jìn)交聯(lián)反應(yīng)的發(fā)生，只有曝光區(qū)域的光刻膠中才有強(qiáng)酸。后烘過程中，曝光區(qū)域在強(qiáng)酸的催化作用下，分子發(fā)生交聯(lián)。?環(huán)氧交聯(lián)發(fā)生在曝光后的烘烤步驟；一般工藝流程為：旋涂、軟烘、曝光、中烘、顯影。后烘或硬烘可以提高圖案的分辨率或消除因應(yīng)力出現(xiàn)的裂紋，增加圖案與襯底的粘附力。